二氯二氢硅的规格和运输方式及其应用

描述
二氯二氢硅(SiH2CL2, DCS)是剧毒,无色,易燃,液化性气体,具有强烈的刺激性气味。与水接触水解形成盐酸。在其自身蒸汽压力下作为液化性气体运输。


规格
纯度,%9999.9
典型的电阻率≥ 200 ohm-cm≥ 400 ohm-cm
一氯甲硅烷≤ 0.2%≤ 100 pm
三氯硅烷≤ 0.5%≤ 200 pm
四氯化硅≤ 0.1%≤ 100 pm
其他氯硅烷≤ 1 wt %≤ 500 pm

运输
DOT 运输名称毒物吸入危害
DOT 分类2.3
DOT 标签毒气,不可燃
UN NO.UN 2189
CAS NO.4109-96-0
CGA/DISS/JIS678/636/W22-14L
运输状态液化性气体

技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C 液体
在空气中的燃烧极限4.1-98.8%
自燃温度 ( °C )100
分子量 ( g/mol )101.01
比重 ( 空气 =1 )3.47
临界温度 ( °C )175.85
临界压力 ( psig )678.2

应用
-是在化学气相沉积 ( CVD ) 工程中和氨 ( NH3 ) 一起作为硅前驱物 ( Silicon Precursor ) 的原料;-用于硅结晶体 ( Silicon Epitaxial ) 的沉积工艺中;


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